לחברת BOC EDWARDS סטנדרד תעשייה גבוה במשאבות ואקום. יש לה יותר מ 20- שנות
ניסיון בשאיבה יבשה בסמיקונדקטורס והיא התקינה 000 , 50 משאבות.
המוצרים המתקדמים האחרונים מכסים את כל המיקום על הלוח בפב (fab) , על ידי
הכלי או במקום מרוחק בתת- פב - (sub fab) והם מאושרים על ידי מפעלי
הסמיקונדקטורס העיקריים בעולם.
|
