 משאבות Scroll הן תחליף למשאבות רוטור להבים (Rotary Vane)
בתהליכים הדורשים שאיבה נטולת שמן. משאבות XDS החדשות הן
בעלות מגן מיסב, המוגן על ידי פטנט בפיתוח של חברת BOC
Edwards. המגן מבודד את תא הוואקום מכל סוגי חומרי הסיכה, כך
שהתהליך יבש לחלוטין, ובנוסף הוא מגן על המסב מגזי התהליך.
Adjustable gas ballast הוא חידוש המאפשר טיפול באדים ופותח
מגוון רחב של יישומים.
? ? 2X10-2 מיליבר / ? 2X10-2 Torr
? 5 עד 30 מ"ק/שעה / 8.8 עד 17.6 ft3/min
|
