 חברה ישראלית המתמחה בתחום המשאבות, מוצרי ואקום ולחץ
לתעשייה מציעה גרסה חדשה לטווח מערכות ציפויי הוואקום עבור
תהליך ציפוי של שכבה עדינה.
ה-FT600 משלבת תא ציפוי ברוחב 600 מ"מ בעל הספק גבוה ומערכת
שאיבת ואקום יבשה. המערכת החדשה מתוכננת לספק עלייה בתפוקה
וגמישות עבור האחראים למחקר, פיתוח וייצור של שכבות
המשתמשים בהם במוליכים למחצה, בתעשיות מדע ולייזר.
ל-TF600 יש מספר מאפייני תכנון חדשים, כמו מיקום מערכת
שאיבת ואקום גבוה בגב התא, כדי לתת יניקה מהירה יותר.
מערכת השאיבה כוללת משאבות פיזור וקירור, בנוסף לטווח של
משאבות טורבו-מולקולריות רגילות.
יש אפשרות לגיבוי ותא מחוספס כולל משאבת XDS 35I יבשה.
|
