 המערכת המוצעת כוללת מקורות מסוג Magnetron תוצרת Angstrom
Science בקוטר של "2. תכנון המערכת מאפשר שדרוג לקטודות של
"3.
במערכת מותקנים שני מחזיקי דגמים הסובבים חשמלית - אופקי
ואנכי - המאפשרים גמישות בבחירת אופן הנידוף. מחזיקים
הדגמים תוכננו במיוחד לדפינה רכה של מצעים פריכים במיוחד.
פתיחה וסגירה של התא מתבצעת על ידי מנוע חשמלי ליניארי,
והיא מבוקרת אוטומאטית על ידי ה- PLC.
שני מחזיקי הדגמים מאפשרים טעינת דגמים קלה ונוחה.
מערכת השאיבה מבוססת על משאבת טורבו TMH251 ומשאבת דיאפרגמה
MVP55-2, שתיהן מתוצרת PFEIFFER מגרמניה.
מד וואקום מאפשר בקרה מלאה על רצף השאיבה ועל התהליך.
המערכת מבוקרת PLC ומאפשרת הפעלה אוטומטית או ידנית.
הבקר מאפשר עריכה ואחסנת תפריטי נידוף להפעלה אוטומטית של
התהליך המבוקש.
המערכת מיועדת לייצור סדרות קטנות ולמעבדות מחקר ופיתוח.
|
