בתעשיות המוליכים למחצה משתמשים במערכות הדורשות ואקום גבוה מאוד. לצורך
יצירת הוואקום הזה משתמשים במשאבות ואקום קריוגניות.
חב' GENESIS VACUUM TECHNOLOGIES מייצרת משאבות ואקום קריוגניות בשיתוף
פעולה עם חב' נסא. במשאבות אלה ניתן לשאוב אוירה רוויית לחות ללא פגיעה
במשאבה או במהירות השאיבה.
תכונות
נפחי השאיבה נעים בין 000 L/S ,660 L/S -10 .
רמת ואקום עד 10 טור.
המשאבות באות במספר דגמים: ICP 100 200 250 300 , וכן ICP050 שמותקנת יחד עם
משאבת טורבו מולקולרית לשאיבת 000 , 16 ליטר לשנייה אדי מים.
|