 המערכת כוללת מקורות מסוג Magnetron תוצרת Angstrom Science
בקוטר של "2 ותכנון המערכת מאפשר שדרוג לקטודות של "3.
במערכת מותקנים שני מחזיקי דגמים הסובבים חשמלית, אופקי
ואנכי, שמאפשרים גמישות בבחירת אופן הנידוף. המחזיקים
תוכננו במיוחד לדפינה רכה של מצעים פריכים במיוחד. פתיחה
וסגירה של התא מתבצעות על ידי מנוע חשמלי ליניארי והן
מבוקרות אוטומטית על ידי ה-PLC. שני מחזיקי הדגמים מאפשרים
טעינת דגמים קלה ונוחה.
מערכת השאיבה מבוססת על משאבת טורבו TMH251 ומשאבת
דיאפרגמה MVP55-2, שתיהן מתוצרת PFEIFFER מגרמניה. מד
ואקום מאפשר בקרה מלאה על רצף השאיבה ועל התהליך.
המערכת מבוקרת PLC ומאפשרת הפעלה אוטומטית או ידנית.
הבקר מאפשר עריכה ואחסנת תפריטי נידוף להפעלה אוטומטית של
התהליך המבוקש.
המערכת מיועדת לייצור סדרות קטנות ולמעבדות מחקר ופיתוח.
|
