 משאבות Scroll הן תחליף אולטימטיבי למשאבות רוטור להבים
(Rotary Vane) בתהליכים הדורשים שאיבה נטולת שמן. משאבות
XDS החדשניות הן בעלות מגן מיסב, מוגן על ידי פטנט בפיתוח,
המבודד את תא הוואקום מכל סוגי חומרי הסיכה. התהליך יבש
לחלוטין, ומעבר לכך מגן על המסב מגזי התהליך.
Adjustable gas ballast מאפשר טיפול באדים ופותח מגוון רחב
של יישומים שהיו עד כה סגורים בפני משאבות Scroll.
? 2X10-2 מיליבר / ? 2X10-2 Torr
5 עד 30 מ"ק/שעה / 8.8 עד 17.6 ft3/min
|
