חברת POLYGON TAMARISK סיימה פיתוח של מערכת הזנת WAFER למכונות ליטוש.
המערכת עומדת בסטנדרטים של חדרים נקיים CLASS 100 .
עקרון הפעולה מתבסס על מחסנית של 3 קומות של WAFER בהמתנה, המוזנת אל
מכונות הליטוש ומתוכן - לפי דרישה.
המערכת כוללת: קומות המתנה, מערכת הזנה מרחבית מבוקרת, מערכת מרכוז ומכלול
שמירת לחות.
|
