 מערכת נידוף PVD כוללת מקורות מסוג Magnetron תוצרת Angstrom Science בקוטר של "2
במערכת מותקנים שני מחזיקי דגמים הסובבים חשמלית- אופקית ואנכית. אלו מאפשרים גמיש
פתיחת וסגירת התא מתבצעת על ידי מנוע חשמלי לינארי ומבוקרת אוטומאטית על ידי ה PLC
שני מחזיקי הדגמים מאפשרים טעינת דגמים קלה ונוחה.
מערכת השאיבה מבוססת על משאבת טורבו TMH251 ומשאבת דיאפרגמה MVP55-2- שתיהן מתוצרת
מד-וואקום מתוצרת חברת Pfeiffer מאפשר בקרה מלאה על רצף השאיבה ועל התהליך.
המערכת מבוקרת PLC ומאפשרת הפעלה אוטומטית או ידנית.
הבקר מאפשר עריכה ואחסנת תפריטי נידוף להפעלה אוטומטית של התהליך המבוקש.
המערכת מיועדת לייצור סדרות קטנות ולמעבדות מחקר ופיתוח.
|
