 חברה ישראלית תכננה, בנתה וסיפקה מערכת נידוף PVD לאחד
מלקוחותיה.
המערכת כוללת מקורות מסוג Magnetron, תוצרת Angstrom
Science, בקוטר של "2. תכנון המערכת מאפשר שדרוג לקטודות של
"3.
במערכת מותקנים שני מחזיקי דגמים סובבים חשמלית, אופקי
ואנכי, המאפשרים גמישות בבחירת אופן הנידוף ותוכננו במיוחד
לדפינה רכה של מצעים פריכים במיוחד.
פתיחה וסגירה של התא מתבצעות על ידי מנוע חשמלי ליניארי
ומבוקרת אוטומאטית על ידי ה-PLC.
שני מחזיקי הדגמים מאפשרים טעינת דגמים קלה ונוחה.
מערכת השאיבה מבוססת על משאבת טורבו TMH251 ומשאבת דיאפרגמה
MVP55-2, שתיהן מתוצרת PFEIFFER גרמניה.
מד ואקום מתוצרת חברת Pfeiffer מאפשר בקרה מלאה על רצף
השאיבה ועל התהליך.
המערכת מבוקרת PLC ומאפשרת הפעלה אוטומטית או ידנית.
הבקר מאפשר עריכה ואחסנה של תפריטי נידוף להפעלה אוטומטית
של התהליך המבוקש.
המערכת מיועדת לייצור סדרות קטנות ולמעבדות מחקר ופיתוח.
|
